C06 (GF-6060) အဓိကစုဆောင်းခြင်း | |||
ဆောင်းပါးများ | အသေးစိတ်အချက်အလက် | သံပူကပ် | |
linear မော်တာ | ulmac3, ulmcc2 | XL | |
ဦး ခေါင်းကိုစာဖတ်ခြင်းအုပ်စိုးသောအုပ်စိုးရှင် | resolution 0.5μm / 1μM (option) | စပိန် | |
မောင်းသူ | SCFD-4D52AAEBEB2, SIDD-0062AebeB2 | dynahead | |
z 0 င်ရိုးကိုအနီရောင် module | XL-80H-S100 | XL | |
ခေါင်းဖြတ်တောက်ခြင်း | bt230 | ရေခဲ | |
တိကျသော linear လမ်းညွှန် | - | မင်္ဂလာပါ | |
စကျင်ကေျာက် | 1800 * 1350 * 200 | ရှံရှန် | |
ဖုန်မှုန့်အဖုံး | စံဖြစ်သော | ရေခဲ | |
အဓိက parameters တွေကို | |||
အလုပ်လုပ် area ရိယာ | 600mm * 600mm | ||
အများဆုံးအရှိန် | 2-5g | ||
X-Axis လျင်မြန်စွာလှုပ်ရှားမှုမြန်နှုန်း | 60m / min | ||
X-axis ထိရောက်သောလေဖြတ် | 600mm | ||
X-Axis positioning တိကျမှန်ကန်မှုကို | ± 0.01mm | ||
x တိကျမှန်ကန်မှုကိုထပ်လုပ်ပါ | ± 0.004mm | ||
y-axis လျင်မြန်စွာရွေ့လျားမြန်နှုန်း | 60m / min | ||
y-axis ထိရောက်သောလေဖြတ် | 600mm | ||
y-axis positioning တိကျမှန်ကန်မှုကို | ± 0.01mm | ||
y ထပ်ခါတလဲလဲ | ± 0.004mm | ||
z 0 င်ရိုး | 100 မီm | ||
အလုပ်လုပ် Ambiance | |||
အလုပ်လုပ်အပူချိန် | -10 ℃· 45 ℃ | ||
ဆွေမျိုးစိုထိုင်းဆ | <90% condensation မရှိပါ | ||
ပတ်ဝန်းကျင် | လေဝင်လေထွက်, အဓိကတုန်ခါမှုမရှိ | ||
ဓာတ်အား | 3x380v ± 10% 220V ± 10% | ||
ပါဝါကြိမ်နှုန်း | 50hz |